空气洁净度等级
洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m)
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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1
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10
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2
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2
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100
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24
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10
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4
|
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3
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1000
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237
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102
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35
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8
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4(十级)
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10000
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2370
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1020
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352
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83
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5(百级)
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100000
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23700
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10200
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3520
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832
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29
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6(千级)
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1000000
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237000
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102000
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35200
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8320
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293
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7(万级)
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352000
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83200
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2930
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8(十万级)
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3520000
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832000
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29300
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9(一百万级)
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35200000
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8320000
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293000
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